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真空系統中有哪幾種壓力參數?

發布日期:2019-04-30 作者:admin 點擊:

真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統的肯定是各種零部件齊全。

真空機組

而壓力參數在真空系統中隨處可見,指的是氣體對于固體或者液體表面的垂直作用力,且在真空系統中它是與壓強同義的。


比較常見的壓力參數自然是極限壓力:極限壓力是真空系統中真空泵性能的主要參數之一。通俗的理解就是真空系統抽氣過程中,經過長時間抽氣,當真空泵或真空機組的抽速為0或者說真空室的壓力參數一直維持在某一定值時,那就是真空泵或者真空機組的極限壓力了。

真空系統

其次是基礎壓力:在某些工藝領域或者技術人員口中,基礎壓力也叫本底壓力,指的是生產工藝開始實施時真空室的壓力。例如磁控濺射應用可能需要將本地壓力抽至10-4Pa,而濺射過程的工作壓力可能在1Pa左右。


工作壓力:工作壓力就是企業生產過程中,為保證工藝實施及產品質量所必需的壓力參數。真空設備選型過程中,為滿足工藝要求,設備的極限壓力都會低于工作壓力一個數量級左右。

真空系統

殘余壓力:殘余壓力某些時候其實和極限壓力一樣,是指經過真空泵或者真空機組一段時間的抽氣作業后,真空室中殘存氣體的全壓。如果此時的真空系統已經沒有抽速了,那殘余壓力就是真空泵或者真空機組的極限壓力。


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